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計測機器、検査･製造装置

計測機器、検査･製造装置

Production & inspections machinery

事業紹介・沿革

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■半導体検査装置
			金バンプ検査装置　BHT-1000G （2,120KB）ウエハ上の金バンプの全数検査／高倍率抜き取り検査抜群の計測再現性（σ　0.1μｍ） 8インチウエハ1枚の計測時間：約7分狭ピッチバンプ、低バンプにも対応
■ハードディスク検査･製造装置
			ディスクチッピング検査装置　DSiS-2006 （743KB）ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ、等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。
			ヘｯﾄﾞ/ﾃﾞｨｽｸ浮上特性評価装置　HDF-2007 （1,470KB）実機ドライブに近い環境下でテストが可能最大８台のスピンスタンドを同時駆動可能最大8台の自動テスト、自動データ保存機能
			ヘッド/ディスク姿勢制御装置　HDA-2005 （2,203KB）ヘッド/ディスク平行度の計測ヘッドZハイトの計測ディスク・ランアウトの計測も可能
			ｱﾙﾐ基板用ﾚｰｻﾞﾃｸｽﾁｬﾘﾝｸﾞ装置 KLT-2006 （1,234KB）スループット　420PPH　（バンプ配列による）フットプリント　(W) 990 X (D) 1600 X (H) 2000 mm 両面同時加工両面独立制御（バンプ高さ、バンプ径、加工半径）
			三次元計測装置（1,598KB）走査型白色干渉法により非接触で三次元形状が可能さまざまなオプション設定で最適な構成をご提供
			自動グライド欠陥分析装置（56KB）グライド検査自動欠陥サーチ・欠陥撮影／マーキング機能
			ｸﾞﾗｲﾄﾞ検査ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ用ｶﾞﾗｽ基板ﾊﾞﾝﾌﾟﾃﾞｨｽｸ（92KB）オーダーメイドによる加工サービスレーザテクスチャ加工による安定した形状
■バイオ機器
			マイクロアレイプリンタ　KCS-1　（1,824KB）トランスフェクションマイクロアレイ製作に最適非接触式プリント CCDカメラによる位置補正
			マイクロアレイプリンタ　KCS-mini　（1,455KB）研究室に最適なコンパクトサイズ自由度の高いアレイパターン生成
■食品検査装置
			異常卵検査装置 AED-X2　（1,164KB）血卵検出機能に加え、乱れ卵 (濁卵)、黄身薄卵、無黄卵などの異常卵を検出検査結果や設定が、わかりやすく使いやすい設定器を採用

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