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■レーザ変位計により、ヘッド/ディスクの相対的な位置計測を行います。 |
![]() 平行度 & Zハイト計測結果(例) |
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| (1) ヘッド/ディスク平行度の計測 ヘッド上3点、ディスク上3点を指定(ティーチング方式)し、 ヘッドとディスクの平行度(X方向、Y方向)を計測します。 |
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| (2) ヘッドZハイトの計測 ヘッド上1点を指定(ティーチング方式)し、(1)で計測したディスク平面との距離を計測します。 |
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![]() Disk ランアウト計測結果(例) |
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| ■ ディスク・ランアウトの計測 |
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| オプション機能として、ディスク・ランアウトの計測も可能です。 |
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■計測精度 |
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| ■ステージ仕様 | |||||||||||
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〒661-0967 兵庫県尼崎市浜1丁目1番1号 TEL:06-6491-0859 FAX:06-6491-0899 ・ メールによるお問い合わせ : info@cp.kubota.co.jp |
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