■レーザ変位計により、ヘッド/ディスクの相対的な位置計測を行います。

 
平行度 &  Zハイト計測結果(例)
平行度 & Zハイト計測結果(例)
(1) ヘッド/ディスク平行度の計測

ヘッド上3点、ディスク上3点を指定(ティーチング方式)し、 ヘッドとディスクの平行度(X方向、Y方向)を計測します。
 
(2) ヘッドZハイトの計測

ヘッド上1点を指定(ティーチング方式)し、(1)で計測したディスク平面との距離を計測します。
 
Disk ランアウト計測結果(例)
Disk ランアウト計測結果(例)
■ ディスク・ランアウトの計測
 
オプション機能として、ディスク・ランアウトの計測も可能です。
 

■計測精度
Zハイト計測精度 5um以下
(弊社標準計測条件)
平行度計測精度 5分以下
(弊社標準計測条件)
ランアウト計測精度 1um以下
高さ方向計測範囲 +/- 4mm
■ステージ仕様
Xステージ(自動) ストローク 85mm、
位置決め精度10um以下
Yステージ(自動) ストローク 85mm、
位置決め精度10um以下
Zステージ(手動) ストローク +/-6.5mm
クボタコンプス株式会社
     〒661-0967 兵庫県尼崎市浜1丁目1番1号
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