ディスクチッピング検査装置DSiS-2006
 
　ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ、等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。

　合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することができます。


・スループット 〜800PPH　（検査条件による）
・フットプリント 本 体：(W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm
　　　　(W) 1810:カセット受渡部を含む
ＰＣラック：(W) 570 × (D) 630 × (H) 1850 mm
・クリーン度 クラス10（＠0.1μm）
・自動搬送システムに対応
 
■検査仕様
 
・対応ディスク　１．８９”，２．５”，３．５”
・検査領域
　内周端面を除く全域（または指定領域）
・センサ素子サイズ　７ｕｍ
・ピクセル分解能
　検査領域（レンズ倍率に依存） 　
・レンズ倍率
　１ｘ〜３ｘ
　 （検査内容に合わせて設計致します）
 
・設計事例
＜２．５”ディスク、８００ＰＰＨ＞
　検査領域
　内周　：　Ｒ１０．０ 〜 Ｒ１５．０（２ｘ）
　外周　：　Ｒ３１．０ 〜 Ｒ３２．５（３ｘ）
 
■ユーティリティ
 
・電気　単相100V 40A / ３相200V 10A
・クリーンドライエア
　0.5MPa　　300Nl/min
・排気　8m3/min
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