ガラス基板形状測定装置

非接触式
ガラス基板形状測定装置

　
これ1台で、
ガラスディスクの内径、外径、真円度、同芯度を短時間で同時計測
●非接触方式による内外径、真円度、同芯度測定
●自動キャリブレーション機能
●部分計測機能／全周計測機能

　
操作画面例

初期設定画面（ステージ調整・手動計測）

計測データ表示画面

DFM-2002
Disk Form Measuring System

　
基本仕様

（＊）部分計測　→　ディスク中心に対し、±Ｌｍｍの領域を計測
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（設定可能）
（＊＊）測定精度は、弊社標準ｻﾝﾌﾟﾙによる