顕微鏡をはじめ、カメラ、ＰＣ、ステージなど、さまざまなオプション設定がございます。
ご使用の環境や要求仕様に合わせて、最適な構成をお選びいただけます。

オプションの自動Ｘ-Ｙステージと専用ソフトを選択すると、各視野（最大7.2mm角)の高さ情報をつなぎあわせ、半導体ウエハ(６インチ、８インチなど)やハードディスクの平面度を測定することも可能です。